晶合集成获得发明专利授权:“一种MIM电容及其制作方法和半导体器件”
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种MIM电容及其制作方法和半导体器件”,专利申请号为CN202510740926.2,授权日为2025年8月19日。
专利摘要:本发明公开了一种MIM电容及其制作方法和半导体器件,涉及半导体技术领域,其中制作方法包括:提供基底,并在基底上依次形成第一电极层、第一绝缘层、第二电极层和第二绝缘层,以具有第一电极图形的掩膜层为掩膜,对第一电极层、第一绝缘层、第二电极层和第二绝缘层进行刻蚀,以使第一电极层形成第一电极,对第二绝缘层进行回蚀,以去除第二绝缘层的边缘部分,使第二绝缘层暴露出第二电极层的边缘部分,以回刻后的第二绝缘层为掩膜,对第二电极层进行刻蚀,以去除第二电极层的边缘部分,使第二电极层形成第二电极,从而仅需要使用一张光罩来形成具有第一电极图形的掩膜层,进而可以降低MIM电容的制作成本,提高MIM电容的制作效率。
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今年以来晶合集成新获得专利授权244个,较去年同期增加了15.09%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1219条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。
数据来源:天眼查APP
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